產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

QPVH/QPV系列隔膜閥，專(zhuān)為需要高精度、高純度及嚴苛工作環(huán)境的應用場(chǎng)景設計。該系列閥門(mén)采用獨特的膜片式硬密封結構，實(shí)現了超低漏率與長(cháng)壽命的完美結合，同時(shí)具備快速響應能力，可靈活應對各種復雜控制需求。特別適用于原子層沉積（ALD）工藝，能夠精細控制氣體用量，確保工藝的穩定性和精確度。同時(shí)由我司自主研發(fā)設計制造的QPVH/QPV系列隔膜閥成功認證通過(guò)了國內首臺（套）認定，標志著(zhù)我司在世界領(lǐng)先超潔凈閥門(mén)技術(shù)領(lǐng)域取得重大突破，突破國際技術(shù)壁壘并成為國內首個(gè)使用原子層沉積（ALD）工藝生產(chǎn)并投入制造的廠(chǎng)家，為國產(chǎn)芯片全產(chǎn)業(yè)鏈自主研發(fā)工藝提供了強有力的保障。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

一：快速響應與超長(cháng)使用壽命：QPV/QPVH系列隔膜閥采用先進(jìn)的設計，響應時(shí)間低至20ms，并且確保在快速響應的同時(shí)，擁有超長(cháng)的使用壽命。這得益于其優(yōu)質(zhì)的膜片材料和優(yōu)化的密封結構，即使在高頻次操作下也能保持穩定的性能；

二：耐高溫執行器：為滿(mǎn)足不同工藝對溫度的特殊要求，該系列閥門(mén)可選配耐高溫執行器，確保在高溫環(huán)境下仍能正常工作，拓寬了應用范圍；

三：嚴格的泄漏測試：每臺QPV/QPVH系列隔膜閥均經(jīng)過(guò)單獨的氦質(zhì)譜泄漏測試，確保內漏率和外漏率均達到行業(yè)領(lǐng)先水平（≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He），為客戶(hù)帶來(lái)生產(chǎn)提高以及產(chǎn)品質(zhì)量保證；

四：靈活的連接選項：提供模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR^®端接等多種連接方式，方便用戶(hù)根據實(shí)際需求進(jìn)行選擇和安裝，提升了系統的靈活性和便捷性。

主要部件材料：

閥體：316L（VIM+VAR）

膜片：Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊：PFA

主要工作條件：

進(jìn)口壓力：真空至 145psig

工作溫度：0~120℃，0~200℃（高溫型）

流量系數：0.27/0.62

內漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

外漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

內表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm