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移動(dòng)端
前驅體源瓶
工作壓力：0.8Mpa｜工作溫度：0 ～ 150℃
一體化氣體分配系統
工作壓力：0 ～ 150psi｜工作溫度： -10 ～ 60℃
手動(dòng)真空波紋管角閥系列
內表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm｜工作溫度：-10 ～ 80℃
氣動(dòng)真空波紋管角閥系列
開(kāi)啟壓力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作溫度：-10 ～ 80℃
手動(dòng)波紋管截止閥
工作溫度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃｜壓力等級：0 ～ 400psig
氣動(dòng)波紋管截止閥系列
開(kāi)啟或關(guān)閉壓力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作溫度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃
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